Klassificering av kiselkarbidsubstrat

Enligt olika elektriska egenskaper kan kiselkarbidsubstrat delas in i två typer: halvisolerande kiselkarbidsubstrat och ledande kiselkarbidsubstrat. Halvisolerande kiselkarbidsubstrat används huvudsakligen för att tillverka radiofrekvensenheter av galliumnitrid. Genom att odla ett epitaxiellt galliumnitridskikt på ett halvisolerande kiselkarbidsubstrat framställs en kiselkarbidbaserad epitaxial skiva av galliumnitrid, som vidare kan användas för att tillverka radiofrekvensapparater av galliumnitrid. Konduktiva kiselkarbidsubstrat används huvudsakligen vid tillverkning av kraftenheter. Till skillnad från den traditionella tillverkningsprocessen för kiselkraftenheter kan kiselkarbidkraftenheter inte tillverkas direkt på kiselkarbidsubstrat. Det är nödvändigt att odla ett epitaxiellt kiselkarbidskikt på ett ledande substrat för att erhålla en epitaxiell kiselkarbidskiva och att tillverka olika typer av kraftanordningar på det epitaxiella skiktet. enhet.